Räumliche Atomlagenabscheidung bei Atmosphärendruck zur H...
Gegenstand der vorliegenden Arbeit ist die Entwicklung und Charakterisierung einer Beschichtungsanlage zur Herstellung von Gaspermeationsbarrieren auf Polymerfolien. Als Beschichtungsverfahren wird die vergleichsweise neuartige räumliche Atomlagenabscheidung bei Atmosphärendruck eingesetzt, die eine kostengünstige Herstellung von Barriereschichten im Rolle-zu-Rolle-Verfahren verspricht. Am Materialsystem Trimethylaluminium und Wasser zur Abscheidung von Aluminiumoxid werden die relevanten Prozessparameter der Anlage untersucht und zu deren Optimierung genutzt. Neben Wasser ...