Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion beim Aluminium-Gettern

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Artikelnummer 9783895889387
Produkttyp Buch
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Einband Kartonierter Einband (Kt)
Meldetext Libri-Titel folgt in ca. 2 Arbeitstagen
Autor Apel, Markus Friedel
Verlag Cuvillier Verlag
Weight 0,0
Erscheinungsjahr 1996
Seitenangabe 89
Sprache ger
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