Artikelnummer | 9783942710701 |
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Produkttyp | Buch |
Preis | 60,50 CHF |
Verfügbarkeit | Lieferbar |
Einband | Kartonierter Einband (Kt) |
Meldetext | Folgt in ca. 5 Arbeitstagen |
Autor | Jung, Denis |
Verlag | TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH |
Weight | 0,0 |
Erscheinungsjahr | 20120507 |
Seitenangabe | 164 |
Sprache | ger |
Anzahl der Bewertungen | 0 |
Neuartiges Bauteilkonzept quasistatisch-resonanter 2D-Mikroscanner für die Zielanwendung ultrakompakter Laserprojektionsdisplays Buchkatalog
Die Dissertation präsentiert ein neuartiges Mikroscanner-Bauteilkonzept für Anwendungen der Strahlsteuerung und in ultra-kompakten, hoch-auflösenden Laserprojektionsdisplays. Das Konzept nutzt die Vorteile elektrostatischer Kammantriebe in Bezug auf Miniaturisierbarkeit und Leistungsverbrauch des Scanner-Bauteils bei der Realisierung quasistatisch ausgeführter Scanbewegungen mit großen mechanischen Ablenkwinkeln (bis zu 11.5°). In Kapitel 3 wird das Bauteil- und Technologiekonzept sowie die Bedeutung von Festkörpermechanismen für die kombinierte Fertigung von planaren und vertikalen Kammantrieben in einem volumenmikromechanischen Herstellungsprozess detailliert beschrieben. Kapitel 4 befasst sich mit den theoretischen Grundlagen des statischen und dynamischen Bauteilverhaltens. Den Schwerpunkt bilden neuartige Makromodellierungsansätze zur Erfassung der elektrostatischen, elektromechanisch gekoppelten und fluiddynamischen Domäne bei geringem Modellierungs- und Rechenaufwand. Die hieraus abgeleiteten Modelle werden in Kapitel 5 verwendet um die Eignung alternativer Elektrodengeometrien und Anordnungen zu untersuchen und gegenüberzustellen. Besonders effiziente, neuartige CAVC-Antriebselektroden werden vorgestellt. Kapitel 6 umfasst die Bauteiltechnologie. Der Fokus liegt auf dem für das Aufbaukonzept und die Realisierung vertikaler Kammantriebe zentralen, adhäsiven Waferbondverfahren mittels Benzocyclobuten (BCB). Kapitel 7 stellt ausgewählte Demonstratoren mit ihren charakteristischen Eigenschaften vor. Kapitel 8 befasst sich mit Heuristiken zur Steuerung und Regelung der nichtlinearen Regelstrecke sowie deren Eignung für die Strahlsteuerung und lineares Scannen.
60,50 CHF
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