Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

zur Substratoberfliiche wird dort ein Teilchen­ beschuB ennoglicht.

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Artikelnummer 9783540585114
Produkttyp Buch
Preis 104,00 CHF
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Einband Kartonierter Einband (Kt)
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Autor Olbrich, Walter
Verlag Springer Berlin Heidelberg
Weight 0,0
Erscheinungsjahr 19941021
Seitenangabe 128
Sprache ger
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