Artikelnummer | 9783863598594 |
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Produkttyp | Buch |
Preis | 53,50 CHF |
Verfügbarkeit | Lieferbar |
Einband | Kartonierter Einband (Kt) |
Meldetext | Libri-Titel folgt in ca. 2 Arbeitstagen |
Autor | Vieker, Jochen |
Verlag | Apprimus Wissenschaftsver |
Weight | 0,0 |
Erscheinungsjahr | 2020 |
Seitenangabe | 137 |
Sprache | ger |
Anzahl der Bewertungen | 0 |
Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb Buchkatalog
Für die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie werden kompakte und langzeitstabile EUV-Strahlungsquellen für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten benötigt. In dieser Arbeit wird eine EUV-Strahlungsquelle auf Basis einer Gasentladung - dem hohlkathodengetriggerten Pinchplasma - bezüglich der im Langzeitbetrieb relevanten Einflussfaktoren untersucht. Signifikante Verbesserungen der Leistungsfähigkeit werden demonstriert und ein technologischer Ausblick vorgestellt.
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