Wärmedämmschichten werden eingesetzt, um die Temperaturbelastung von hoch beanspruchten Bauteilen in Gasturbinen zu senken. Typischerweise bestehen Wärmedämmschichten aus mit Yttriumoxid stabilisiertem Zirconiumdioxid und werden durch thermische Spritzverfahren oder Elektronenstrahlverdampfen (EB-PVD) aufgetragen.In dieser Arbeit wird ein alternatives Beschichtungsverfahren (Gasflusssputtern - GFS) untersucht, indem die Prozessparameter (Substrattemperatur, Bias-Spannung, Druck, Sauerstofffluss, Substratoberfläche) gezielt bei der Herstellung von Zirconiumdioxid-Schichten variiert und die entstehenden Mikrostrukturen ...