Direkte Lasersynthese von Funktionsschichten
Hartstoffsysteme wie Titannitrid spielen im Bereich der Materialwissenschaften eine wichtige Rolle. Insbesondere der Verschleiß- und Korrosionsschutz basiert auf solchen Systemen. Neben den klassischen Verfahren wie PVD oder CVD, stellt das hier untersuchte Verfahren der direkten Lasersynthese in reaktiver Gasumgebung eine Alternative zur Herstellung solcher Schichten dar. Das Buch zeigt die erfolgreiche Synthese solcher Schichten mit Hilfe von FEL und Nd:YAG ...