Automatisierung im MEMS Entwurf
Diese Arbeit verfolgt einen neuen Ansatz bei der Modellierung der Mikromechanik in Systemen der Mikrosystemtechnik: Die Modellierung geschieht auf der Grundlage eines Baukastens von Modellen für Basis-Effekte. Die Modellgleichungen der Effekte basieren auf analytischen Gleichungen, die wenig Rechenzeit benötigen und die somit für Systemsimulationen bestens geeignet sind. Die Modelle wurden in der analogen Hardwarebeschreibungssprache VHDL-AMS (IEEE 1076.1) implementiert, die eine ...