Über die lithografische Herstellung von Fe- und Co-Nanost...
Die Halbleiterindustrie treibt die Entwicklung der Nanotechnologie voran und profitiert auch in hohem Maße davon. Wie durch das Mooresche Gesetz vorhergesagt, steigt die Zahl der einzelnen Nanokomponenten wie Transistoren auf einem Chip weiter an, wodurch die Dichte der funktionellen Einheiten erhöht und somit die Rechenleistung verbessert wird. Eine leistungsfähige Methode für die kontrollierte Herstellung im Nanometerbereich ist die fokussierte elektronenstrahlinduzierte ...