Entwicklung hochleistungsfähiger ohmscher MEMS-Schalter a...
Während sich Halbleiterschalter seit Erfindung des Transistors anwendungsübergreifend zum Standard für das Schalten elektrischer Signale etabliert haben, stellen neue Anwendungskonzepte immer höhere Anforderungen, die sich nicht oder nur eingeschränkt mittels elektronischer Schalter bedienen lassen. Insbesondere im Bereich der Telekommunikationstechnik liegt das Augenmerk daher schon lange auf ohmschen MEMS-Schaltern, welche konzeptbedingt u. a. überragende Sperr- sowie Durchlasseigenschaften ermöglichen. Bedingt durch Defizite, ...