Plasmagestützte Nanostrukturierung von ETFE-Folie
Für die Untersuchung der Strukturbildung auf Ethylentetrafluorethylen-Folie (ETFE) im Plasmaätzprozess wird ein Doppel-Magnetron-System als Plasmaquelle genutzt. Im Plasma gebildete negative Sauerstoffionen interagieren mit dem Polymer und führen zur Strukturierung. Durch Variation der Energiedosis im Prozess werden die Strukturbildung und die optisch entspiegelnde Wirkung der Strukturen beeinflusst. Der Zusammenhang zwischen dem Plasmaparameter ¿Energiedosis¿, der Transmissionsänderung und den Strukturdimensionen wird dargestellt und ...