Nanodraht-Drucksensoren
Es ist allgemein bekannt, dass die Mikroelektronik eine der einflussreichsten Technologien des zwanzigsten Jahrhunderts ist. Der Boom der mikroelektromechanischen Systeme (MEMS) in den letzten Jahren wäre ohne die Reife der Mikroelektronik-Technologie nicht möglich gewesen. MEMS sind kleine, integrierte Bauelemente, die sowohl elektronische, elektrische als auch mechanische Elemente auf einem einzigen Chip vereinen. MEMS versprechen, die meisten Mikroprodukte zu revolutionieren, indem ...