Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidu...
Amorphe und mikrokristalline Dünnschichten zur großflächigen Anwendung in der Photovoltaik oder für Dünnschichttransistoren in der Sensorik werden in der industriellen Praxis durch HF- bzw. VHF- und Mikrowellen-PECVD hergestellt. Der vorliegende Band der "Dresdner Beiträge zur Sensorik" untersucht für die Herstellung dieser Schichten den Magnetron-PECVD-Prozess, bei dem zur Plasmaerzeugung und -steuerung eine Magnetron-Sputterquelle, die für das reaktive Puls-Magnetron-Sputtern entwickelt wurde, eingesetzt ...