Multifunktionale Nanoanalytik für Nanopositionier- und Me...
In diesem Buch wird die Integration verschiedener Analysetechniken in die Nanopositionier- und Nanomessmaschine (NPM-Maschine) gezeigt, um ein möglichst breites Anwendungsspektrum dieser Maschine zu erreichen. Neben der Entwicklung und Analyse, der für die Positionierunsicherheit benötigten Referenzstrukturen, werden in dieser Arbeit auch Messverfahren auf AFM-Basis zur Integration in die NPM-Maschine untersucht. Verschiedenartige Nanomessverfahren, insbesondere verschiedenen Modi der AFM-Technik, die zur Bestätigung und ...