Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristall...
Im Rahmen dieser Arbeit wurden auf der Basis von heteroepitaktischen und polykristallinen Diamantschichten auf Silizium unter Anwendung einer generischen Material- und Herstellungstechnologie verschiedene Mikrosysteme entwickelt. Dieses Materialsystem wurde in den vergangenen Jahren zunehmend für den Einsatz in solchen Systemen als das ultimative Material prognostiziert, speziell für die Entwicklung von Mikroaktoren und Mikrosensoren [1¿8]. Gerade in mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) ist Diamant ...