Entwurf einer Sensorkomponente eines elektromagnetisch an...
Inhaltsangabe:Einleitung: Das Institut für Mikrosensoren, -aktuatoren und Systeme IMSAS beschäftigt sich unter anderem mit der Entwicklung von Drehratensensoren, deren Strukturen Abmessungen im mü-m Bereich haben. Drehratensensoren (Gyroskope) dienen durch die Messung von Winkelgeschwindigkeiten der Stabilisierung von Systemen und finden neben dem KFZ-Bereich und der Medizintechnik unter anderem Anwendung bei der Steuerung von Navigationssystemen. Die Antriebsstrukturen werden über eindimensionale Resonatoren realisiert, ...