Lateral strukturierte Halbleiter -Mikroresonatoren
Im Rahmen dieser Arbeit wurden lateral strukturierte Halbleiter-Mikroresonatoren hergestellt und mittels optischer Spektroskopie, insbesondere Reflexionsund Photolumineszenzspektroskopie, studiert. Hierbei wurden zwei unterschiedliche Ansätze verfolgt. Einerseits wurden aus planaren Mikroresonatoren lateral gekoppelte photonische Punkte präpariert, andererseits wurden Arrays von Microdisks hergestellt. Im Gegensatz zu den bislang üblichen Verfahren wurde bei der Präparation beider Mikroresonatorarten die holographische Lithographie zur Definition großflächiger periodischer Ätzmasken ...