2 Ergebnisse.

Nanostrukturierung von Substraten
Studienarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Ingenieurwissenschaften - Maschinenbau, Note: 1, 0, Technische Universität München (Lehrstuhl für Physik E19), 91 Quellen im Literaturverzeichnis, Sprache: Deutsch, Abstract: Der Trend zur Miniaturisierung ist einer der wesentlichsten Merkmale der technnologischen Entwicklung im 20sten und 21sten Jahrhundert. So werden nicht nur klassische Technologien, wie zum Beispiel die Prozessortechnik, immer weiter verkleinert, sondern es ...

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Neuartiges Bauteilkonzept quasistatisch-resonanter 2D-Mikroscanner für die Zielanwendung ultrakompakter Laserprojektionsdisplays
Die Dissertation präsentiert ein neuartiges Mikroscanner-Bauteilkonzept für Anwendungen der Strahlsteuerung und in ultra-kompakten, hoch-auflösenden Laserprojektionsdisplays. Das Konzept nutzt die Vorteile elektrostatischer Kammantriebe in Bezug auf Miniaturisierbarkeit und Leistungsverbrauch des Scanner-Bauteils bei der Realisierung quasistatisch ausgeführter Scanbewegungen mit großen mechanischen Ablenkwinkeln (bis zu 11.5°). In Kapitel 3 wird das Bauteil- und Technologiekonzept sowie die Bedeutung von Festkörpermechanismen für die kombinierte Fertigung ...

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