Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungs...
Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinräumen stattfinden, gewinnt aus Gründen der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme basieren in der Regel auf funktionalen Gesichtspunkten. In der vorliegenden Veröffentlichung wird eine Meßmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Meßmethodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bezüglich ihrer Partikelemission untersucht sowie Modifikationen zum Zwecke ...