Nanotechnologie und Nanoprozesse
Das Buch ist eine kompakt aufbereitete, didaktische Zusammenstellung der Nanotechnologie auf ihrem aktuellen Stand. Nach einem kurzen Abriss über die historische Entwicklung beschreibt das Werk die Verfahren zur Herstellung und Charakterisierung von wenige Nanometer großen Strukturen, leitet über zu deren (elektrischen) Anwendungen und den physikalischen Messmethoden zur Bestimmung der Eigenschaften von Nanodefekten, -schichten und -partikeln und erläutert schließlich alle wichtigen ...