Mikromechanische Mehrband-Fabry-Pérot-Interferometer für ...
Infrarotsensoren haben seit einigen Jahrzehnten einen festen Platz in der Sensorik erobert. Sie werden zur berührungslosen Temperaturmessung sowie zur Bestimmung physikalischer und chemischer Stoffeigenschaften, insbesondere in der Gasanalyse, verwendet. Für letztere kommt das Verfahren der Infrarotspektroskopie zum Einsatz. Anhand ihrer charakteristischen Absorptionsspektren im mittleren und fernen Infrarotbereich von (3 ... 12) µm ("Fingerabdruck") können Stoffe identifiziert und in ihrer Konzentration ...