Ultrakurzpuls-Laser zur dreidimensionalen Mikrostrukturie...
Ultrakurzpuls-Laser haben hinsichtlich Qualität und Präzision in der Mikrostrukturierung in vielen Anwendungsfeldern Vorteile gegenüber anderen Laserstrahlquellen. Durch die extrem kurzen Pulse und die hohe Pulsenergie kann materialunabhängig nahezu ohne Schmelzerzeugung abgetragen werden. Ein durch den hohen Verdampfungsanteil systembedingter Nachteil ist allerdings, dass die Produktivität im Vergleich zu ns-Laserpulsen sehr gering ist. Ziele der vorliegenden Arbeit waren daher, einen Hochrate-Ultrakurzpuls-Laser für ...