Thermodynamische Analyse
Die vorliegende Arbeit widmet sich der thermodynamischen Analyse der physikochemischen Prozesse des Wachstums von epitaktischen Schichten der Halbleiterverbindung Ga2Se3 aus der Gasphase im Strömungssystem Ga - Se - Cl - H und der Modellierung technologischer Prozesse zur Vorhersage möglicher technologischer Varianten und zur Bestimmung optimaler Bedingungen für die Synthese dieser Verbindung. Es werden die Ergebnisse der Forschungen nach der Bestimmung ...