Effektivität der orthogonalen Abscheidung für organische ...
Organische Dünnschicht-Halbleiterbauelemente wie organische Leuchtdioden (OLEDs) und organische Photovoltaik können auf verschiedene Weise hergestellt werden, unter anderem durch physikalische Gasphasenabscheidung (PVD). PVD ist ein Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten mit genau kontrollierten Dicken und Materialzusammensetzungen auf ein Substrat in einem Vakuumsystem. Widerstandsbeheizte Tiegel, so genannte Boote, werden üblicherweise verwendet, um Ausgangsmaterialien auf eine ausreichende Temperatur zu erhitzen, um eine Verdampfung ...