Artikelnummer | 9783866444966 |
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Produkttyp | Buch |
Preis | 42,50 CHF |
Verfügbarkeit | Lieferbar |
Einband | Kartonierter Einband (Kt) |
Meldetext | Folgt in ca. 5 Arbeitstagen |
Autor | Grund, Thomas |
Verlag | Karlsruher Institut für Technologie |
Weight | 0,0 |
Erscheinungsjahr | 20141016 |
Seitenangabe | 146 |
Sprache | ger |
Anzahl der Bewertungen | 0 |
Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren Buchkatalog
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
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