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Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen
In zunehmendem Maße wird die Verwendungsmöglichkeit vieler technischer Produkte durch die Eigenschaften ihrer Oberflächen bestimmt. Darüber hinaus werden durch ge­ eignete Kombination von Volumen-und Oberflächeneigenschaften neue technologische Anwendungen geschaffen. Dabei kommt der Verwendung dünner Schichten in vielen Industriebereichen eine immer größer werdende Bedeutung zu. Beispielsweise läßt sich die Lebensdauer von Werkzeugen durch das Aufbringen extrem harter Nitridschichten vergrößern. Die Korrosionsbeständigkeit ...

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