Ultrahochbeschleunigte Lebensdauertests an modernen Kupfe...
In der derzeitigen Halbleiter-Fertigung stellen Lebensdauertests von Leitbahnsystemen einen Hauptbestandteil der Metallisierungsqualifizierung dar. Die hierfür in der Industrie verwendete Testmethode ist in der Regel eine standardisierte durch Temperatur- und Strombelastung moderat beschleunigte Lebensdauerbewertung, bei der eine große Anzahl von Proben in einem Ofenmeßsystem auf Package-Level untersucht wird. Die deutliche Lebensdauerverbesserung fortschrittlicher Leitbahnsysteme läßt die moderat beschleunigten Methoden an ihre wirtschaftlichen ...